檢索結果:共3筆資料 檢索策略: "sputter".ekeyword (精準) and ckeyword.raw="拉曼"
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使用射頻磁控反應式濺鍍法製備異質奈米材料於SA(100)、SA(012) 、LTO(012)基板上。本實驗分為二部份,一為先行沉積金紅石結構二氧化鈦於以上各種基板上,探討金紅石結構二氧化鈦奈米柱形貌…
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本論文主要利用純度為99.95%釕靶材,藉由反應式射頻磁控濺鍍系統來研究二氧化釕成長於奈米碳管上之複合物分析,和對於此複合物做初步電容測試探討。利用不同的濺鍍條件,基板成長的溫度不同,可控制晶系結構…
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本研究利用反應式離子束濺鍍法成功地沉積了氧化鎳及氧化鎳摻銅薄膜,並且探討氧氣流量比對於氧化鎳薄膜的光電特性影響。研究結果顯示,在300C下沉積氧化鎳薄膜,當Opf = 0.5時有NiO (200)…